Dans le processus de production de semi - conducteurs, la lithographie est un lien de processus important pour le transfert graphique de circuits intégrés, la qualité de l'encollage affecte directement la qualité de la lithographie, le processus d'encollage est également particulièrement important. La grande majorité de la colle photolithographique dans le processus de revêtement photolithographique est hydrophobe, tandis que les hydroxyles et les molécules d'eau résiduelles à la surface de la Feuille de silicium sont hydrophiles, ce qui entraîne une mauvaise adhérence de la colle photolithographique et de la Feuille de silicium, en particulier de la colle positive, lors du développement du liquide de développement envahira la jonction de la colle photolithographique et de la Feuille de silicium, facile à provoquer des bandes flottantes, de la colle flottante, etc., conduisant à l'échec du transfert graphique photolithographique, tandis que la corrosi L'agent viscosant hmds (hexaméthyldisilazane) peut très bien améliorer cet état. Après application du hmds sur la surface de la plaquette de silicium, le chauffage au four peut réagir pour produire un composé à base de Siloxane. Il transforme avec succès la surface de la plaquette de silicium d'hydrophile en hydrophobe, dont la base hydrophobe se lie bien à la colle photolithographique, jouant le rôle d'agent de couplage.
Mode de construction et de contrôle du four de prétraitement hmds: l'équipement se compose principalement d'une cavité, d'un boîtier de commande électrique et d'une pompe à vide. Il adopte un contrôleur programmable, l'interface d'exploitation est un écran tactile e - view de 5,7 "plus un bouton de commande externe couramment utilisé.
Four de prétraitement hmdsLe * sexe
Les avantages du système de prétraitement hmds sont:
(1) les performances de prétraitement sont meilleures, parce que le traitement hmds est effectué après plusieurs remplacements d'azote, donc il n'y aura pas d'interférence de poussière, en outre, parce que le système est de mettre la "déshydratation" et le traitement hmds dans le même processus, dans le même récipient, la plaque Dans le récipient d'abord après 100 ℃ - 200 ℃ déshydratation de la cuisson, puis le traitement hmds, il n'est pas nécessaire de sortir du récipient, alors que le contact avec l'atmosphère, la plaque a beaucoup moins de chances d'absorber les molécules d'eau, donc il y a un meilleur effet de traitement.
(2) traitement plus uniforme. Comme il est appliqué sous forme de vapeur sur la surface de la plaquette, il existe un revêtement liquide qui n'est pas comparable à une meilleure uniformité.
(3) haute efficacité. Le revêtement liquide est une opération monolithique, tandis que ce système peut traiter jusqu'à plusieurs boîtes de plaquettes à la fois.
(4) plus d'économie de liquide médicamenteux. Il a été démontré en pratique qu'il y a plus de liquide médicamenteux utilisé pour enduire un seul comprimé avec du hmds liquide que pour traiter plusieurs boîtes de plaquettes avec ce système.
(5) plus respectueux de l'environnement et plus sûr, hmds est un produit chimique toxique, après l'inhalation de la personne, il y aura régurgitation, vomissements, douleurs abdominales, irritation de la poitrine, des voies respiratoires, etc., en raison du fait que l'ensemble du processus est effectué dans un environnement fermé, de sorte que personne n'entre en contact avec le liquide médicamenteux et sa vapeur, il est également plus sûr, son échappement est pompé directement par une pompe mécanique à la machine de traitement des gaz d'échappement, de sorte qu'il ne causera pas de pollution à l'environnement.