Surveillance des polluants moléculaires atmosphériques AMC

parfaitSurveillance des polluants moléculaires atmosphériques AMC

La surveillance en temps réel de la pollution moléculaire de l'air (AMC) est extrêmement importante pour les processus de production de semi - conducteurs.

Surveillance des polluants moléculaires atmosphériques AMCLa surveillance rapide, l'alarme, la mesure de très faible concentration, la zone de mesure large, la réponse très sensible de gaz multiples, etc. sont parmi les exigences de l'industrie des semi - conducteurs. Le processus de lithographie UV profonde accorde une attention particulière à l'ammoniac, aux Amines, à la NMP de n - méthyl - pyrrolidone, aux acides et autres mesures de concentration, qui affecteront profondément la qualité du dispositif semi - conducteur lorsque ces gaz réagiront de manière transgénique avec la colle de lithographie amplifiée chimiquement.

Les méthodes traditionnelles anciennes utilisent des méthodes analytiques de mesure indirecte. Y compris les filtres à poussière à percussion, la chromatographie ionique, les méthodes de fluorescence chimique qui sont trop lentes à analyser, les processus opératoires trop complexes, coûteux et les résultats de mesure imprécis.

CEAS (Cavity Enhanced Absorption Spectroscopy) - - - Principe

Schéma de l'instrument basé sur la technologie CEAS (Cavity Enhanced Absorbance Spectroscopy) pour des mesures d'absorption de haute sensibilité à l'aide de la lumière dans le proche infrarouge, la Chambre de mesure est constituée d'un pilier constitué d'un ensemble de lentilles Multi - réfléchissantes à haute réflectivité, le faisceau laser étant mesuré pour obtenir une longueur d'onde laser relative lorsqu'il passe devant un calibrateur à l'état solide (FSR = 2,00 GHz). Pour garantir la clarté, le faisceau lumineux qui aurait autrement éclairé à l'extérieur du miroir cavité de la cellule de mesure gauche a été négligé.

La version améliorée EP intègre un capteur de pression et un régulateur de température interne avec une chambre de mesure ultra - stable qui empêche les erreurs causées par les dérives de température, les variations de pression, etc.

CEAS (Cavity Enhanced Absorption Spectroscopy) présente de nombreux avantages prouvés par rapport à la technologie CRDS (cavity Decay Spectroscopy) de première génération. En bref, le faisceau laser ne nécessite pas de couplage résonnant dans la Chambre de mesure (par exemple, le faisceau ne nécessite pas d'alignement strict). Les instruments et systèmes d'analyse Duke se caractérisent par une installation simple, une solidité mécanique et une protection solide.