Atelier de nettoyage électronique optique

L'ingénierie de purification microélectronique optique est définie comme l'exclusion des particules de poussière microscopiques, de l'air nocif, des bactéries et autres contaminants dans l'air dans une certaine zone spatiale, et le contrôle de la température et de l'humidité, de la pureté, de la pression intérieure, de la vitesse et de la distribution du flux d'air, des vibrations sonores et de l'éclairage, du contrôle électrostatique dans une certaine plage de besoins, tout en donnant un espace confiné spécialement conçu.
Le projet de purification microélectronique optique, également connu sous le nom de chambre sans poussière ou de chambre de nettoyage, est actuellement une installation indispensable et importante pour les semi - conducteurs, la fabrication de précision, la fabrication de cristaux liquides, la fabrication optique, la fabrication de circuits imprimés et les industries biochimiques, pharmaceutiques et alimentaires. Ces dernières années, en raison du développement innovant de la technologie, le besoin de haute précision et de miniaturisation des produits est plus urgent, comme la recherche et la fabrication de circuits massifs à très grande échelle, est devenu un projet extrêmement important dans le développement scientifique et technologique dans le monde entier, et le concept de conception et La technologie de construction de notre société sont des leaders dans l'industrie.
L'ingénierie de purification microélectronique optique comprend généralement:
1. Zone de production propre
2, salle auxiliaire propre (y compris la salle de purification du personnel, la salle de purification des matériaux et la salle d'utilisation partielle de la vie, etc.)
3, zone de gestion (y compris le Bureau, la veille, la gestion et le repos, etc.)
4, zone d'équipement (y compris l'application du système de climatisation purifiée, la salle d'utilisation électrique, la salle d'utilisation de l'eau et du gaz de haute pureté, la salle d'utilisation de l'équipement chaud et froid)
Ingénierie de purification microélectronique optique principes de purification
Flux d'air → purification à effet initial → climatisation → purification à effet moyen → soufflerie d'air → tuyauterie → purge efficace des bouches d'air → soufflage dans la pièce → élimination des bactéries poussiéreuses
Particules égales → volets de retour d'air → purification à effet initial Répétez le processus ci - dessus, vous pouvez atteindre l'objectif de purification.
Ingénierie de purification microélectronique optique paramètres de purification
Nombre de changements d'air: 100 000 niveaux ≥ 15 fois; 10 000 niveaux ≥ 20 fois; 1000 ≥ 30 fois. Pression différentielle: atelier principal contre pièce adjacente ≥ 5pa
Vitesse moyenne du vent: classe 10, classe 100 0,3 - 0,5 m / s; Température hiver & gt; 16 °C; < 26 ° C en été; Fluctuation ± 2°C.
Température 45 - 65%; L'humidité d'atelier de poudre de GMP autour de 50% est appropriée; L'humidité de l'atelier électronique est légèrement plus élevée pour ne pas produire d'électricité statique.
Bruit ≤ 65 DB (A); Le supplément de vent neuf est de 10 à 30% du débit total; Luminosité 300lx.