Le détecteur de concentration en ligne d'acide fluorhydrique et d'hydrogène est conçu pour des conditions de travail difficiles, intégrant des mesures de haute précision, l'adaptation aux normes propres de la classe semig5, la résistance aux hautes températures et la réponse efficace à l'atténuation de la source lumineuse et aux fluctuations du milieu. L'élimination des perturbations environnementales par le contrôle de la température assure un fonctionnement stable à long terme dans des environnements à haute corrosion et à haute température tels que l'acide fluorhydrique - hydrogène, répondant aux besoins des industries des semi - conducteurs, du photovoltaïque et d'autres pour la surveillance en temps réel des paramètres de processus.
Présentation du produit
Dans les semi - conducteurs, la microélectronique et d'autres domaines de haute technologie, l'acide fluorhydrique (HF) de qualité électronique remplit les fonctions de nettoyage et de gravure.
En ce qui concerne la garantie de la qualité du produit, le contrôle de la concentration est la base pour assurer l'effet de nettoyage et de gravure, en évitant les excès ou les insuffisances, assurant ainsi la qualité de surface et les performances du produit.
En termes de processus de production stable, la fluctuation de la concentration de HF peut entraîner une instabilité du processus, affecter l'efficacité de la production et le bon taux de produit, le contrôle de la concentration stable est la clé pour atteindre une production efficace.
Réduire les coûts de production en termes de rentabilité économique en contrôlant la quantité de HF utilisée, en réduisant les déchets et en réduisant les coûts d'élimination des déchets liquides.
En termes de sécurité, la maîtrise de la concentration en HF permet d'évaluer les risques potentiels pour la sécurité et de prendre les mesures de protection appropriées pour assurer la sécurité du personnel d'exploitation.
Répondre aux exigences environnementales, contrôler la consommation de HF et réduire les émissions aident les entreprises à répondre aux réglementations environnementales de plus en plus strictes.
Acide fluorhydrique de qualité électronique son champ d'application est large et couvre la fabrication de semi - conducteurs pour les processus clés tels que le nettoyage des tranches de silicium, la gravure de la couche d'oxyde, l'élimination des impuretés métalliques; Fabrication microélectronique, appliquée à la fabrication de circuits intégrés, à la fabrication d'écrans à cristaux liquides, à la fabrication de cellules solaires, etc.; Et la recherche en laboratoire, qui joue un rôle dans l'analyse chimique, la recherche sur les matériaux, etc.
Cependant, les méthodes traditionnelles de détection des concentrations d'acide fluorhydrique - hydrogène reposent souvent sur l'analyse manuelle de l'échantillonnage, ce qui présente de nombreux inconvénients: temps et effort, nécessité d'un échantillonnage manuel, envoi de tests, attente des résultats d'analyse, ce qui entraîne une inefficacité; Hystérésis, les résultats de l'analyse ne reflètent pas les changements de concentration en HF en temps réel, le processus ne peut pas être ajusté à temps; L'erreur est grande, l'opération manuelle introduit facilement l'erreur, affecte la précision de détection; Plus important encore, il existe des problèmes de sécurité et le contact direct avec HF hautement corrosif présente un risque de sécurité élevé. Il est donc impératif de rechercher une méthode plus efficace et sûre de détection de la concentration en acide fluorhydrique.
Détecteur de concentration en ligne d'acide fluorhydrique, le produit aHaute précision, classe semig5, résistance aux hautes températures, source lumineuse longue durée, détecteur de température constanteCaractéristiques égales, plage de mesure 0 - 55%. Le capteur utilise une structure de cellule de circulation ultra - pure en PTFE / PFA combinée à un prisme optique Saphir de grande surface, qui résout le problème de la « collerette» de la mesure en ligne et du contrôle de la concentration de produits chimiques électroniques humides dans l'industrie des semi - conducteurs grâce à l'accumulation de technologie à long terme et à la recherche et au développement.
Avantages du produit
Pas de prétraitement de l'échantillon, pas de consommables réactifs, l'ensemble du processus de mesure est de l'ordre de la seconde.
Source lumineuse ultra longue durée jusqu'à 100 000 heures, réduisant les coûts d'utilisation et d'entretien.
Certains matériaux ne sont pas affectés par la couleur, la turbidité.
Certains matériaux ne sont pas affectés par les bulles d'air, les particules.
Une partie du matériau n'est pas affectée par les variations de pression de l'objet de détection, les mutations de débit, les phénomènes de turbulence.
Le compteur n'a aucune action mécanique pendant la détection, assurant une utilisation stable à long terme.
Détectez la structure entièrement plane du prisme, évitez la saleté de la fenêtre optique.
Calibrage en usine et compensation automatique de la température, mise en service directe.
Prise en charge de la communication de la machine montante, sortie de signal 4 - 20MA & RS485.
Prise en charge de l'alarme et du contrôle et d'autres sorties de signal de commutateur.
Prend en charge la fonction de modélisation des données, le modèle de données peut être personnalisé.
Paramètres techniques
Modèle du produit |
CYR-E-HF |
Projet de mesure |
Indice de réfraction, température, concentration |
Gamme de mesure |
0 à 55% |
Résolution |
0,01% |
Précision de répétition |
± 0,02% |
Mesurer la température |
0 à 130 ℃ |
Compensation de température |
0-130℃ |
Matériaux clés |
Matériau tactile: PTFE ou PFA ultra - pur; Boîtier: recouvert de fluor |
Matériau prisme |
Saphir de qualité optique |
Sortie du signal |
Dc4 à 20ma et RS485; Sortie de signal de commutateur à 2 voies |
Puissance d'entrée |
DC 24V ou AC 220V |
Niveau de protection |
IP65 |
Pression du processus |
≤ 1mpa (10bar) niveau de pression plus élevé peut être personnalisé |
Taille poids |
Capteur: ¢ 119 * 188mm / environ 2.0kg |
Options d'installation |
Installation de tuyaux de 1 / 2 pouce |
Autres fonctions |
Panneau de commande multifonctionnel de l'hôte pour afficher des données telles que la concentration, la température, l'indice de réfraction, etc.
Prend en charge des fonctions telles que les conseils de code d'erreur, la correction du zéro en un clic, la restauration des paramètres d'usine, l'enregistrement des courbes et l'exportation de données
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