Filtres à gaz entegris

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Vue d'ensemble

Wgfg01dsh est un filtre point - of - use (point d'utilisation finale) spécialement conçu pour les systèmes de transport de gaz de haute pureté. Il est principalement utilisé pour protéger les équipements de processus critiques en aval, éliminer les polluants particulaires des gaz et s'assurer que les gaz de processus répondent aux exigences strictes de propreté.

Détails du produit

Entegris wgfg01dsh filtre à gaz

1. Aperçu du produit
Wgfg01dsh est un filtre point - of - use (point d'utilisation finale) spécialement conçu pour les systèmes de transport de gaz de haute pureté. Il est principalement utilisé pour protéger les équipements de processus critiques en aval, éliminer les polluants particulaires des gaz et s'assurer que les gaz de processus répondent aux exigences strictes de propreté.

2. Paramètres et spécifications de base

projet	Paramètres / spécifications
Modèle du produit	WGFG01DSH
Grade de cartouche filtrante	Généralement configuré comme une cartouche métallique frittée de 0003 microns (3 nanomètres) ou plus, selon le suffixe du modèle commandé.
Média filtrant	Feutre de fibres métalliques frittées en acier inoxydable (comme la technologie de feutre de fibres bekaert d'entegris).
Matériau du boîtier	Acier inoxydable 316L (faible teneur en fer, faible teneur en soufre).
mode de connexion	VCR ® Ou VCO ® Joints d'étanchéité sur la face, généralement de 1 / 4 "ou 1 / 2" (sous réserve de confirmation de commande spécifique).
Matériaux d'étanchéité	On utilise généralement un joint entièrement métallique (sans polymère) ou, en option, un caoutchouc fluoré conforme aux exigences du procédé des semi - conducteurs (p. ex., viton). ®/ FKM) bague d'étanchéité.
Pression de conception	Conception à haute pression avec des valeurs typiques telles que 2 000 psig (138 bar) ou plus, voir la fiche technique du produit.
Température de conception	Il peut être adapté aux environnements de cuisson à haute température, la plage de température de fonctionnement typique peut atteindre plus de 150 ° c.
Traitement de surface	L'intérieur de l'enceinte est traité par polissage électrolytique (EP) pour réduire les taux d'adsorption et d'échappement des particules.
Taux d'élimination des particules	L'efficacité d'élimination est généralement ≥ 999999% pour les particules de taille cible (par exemple ≥ 0003 µm).
Test d'usine	Chaque filtre est soumis à des tests rigoureux d'intégrité en usine (tels que le test de point de bulle) et à des tests de défi de particules, avec un rapport de certification (COC) fourni.
Domaines d'application	Fabrication de semi - conducteurs, panneaux d'affichage, photovoltaïque, barres préfabriquées de fibre optique, etc. nécessite un lien de processus de gaz de très haute pureté, couramment utilisé dans la lithographie, la gravure, CVD、 Lignes d'alimentation en gaz pour des équipements tels que l'implantation ionique.

3. Caractéristiques fonctionnelles principales
Haute efficacité de capture: capacité de piégeage pour les particules submicroniques et nanométriques en utilisant un mécanisme de chargement en profondeur.
Faible dégagement et faible dégagement gazeux: structure entièrement métallique et traitement de polissage électrolytique pour contrôler efficacement le dégagement d'ions métalliques et réduire la désorption de l'humidité et du gaz.
Haute intégrité structurelle: cartouche et boîtier en métal robuste, résistant aux fluctuations de pression du système, aux chocs et aux températures élevées.
Large compatibilité: convient à une large gamme de gaz de procédé de haute pureté, corrosifs et inertes tels que n₂, h₂, o₂, AR, He, sih₂, HCl, cl₂, wf₆, etc.

4. Notes importantes

Les paramètres techniques spécifiques (par exemple, la taille de la connexion, la classe de filtration précise, la pression nominale) doivent êtreFiche produit final (datasheet) et rapport de certification émis par entegrisEst soumis.

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