Machine de lithographie UV profonde à haute résolution suisse

L'équipement phable est basé sur la technologie DTL (Displacement Talbot Lithography) adoptée par eulitha et offre une lithographie haute résolution grace à un système de lithographie à faible co?t. Le DTL surmonte les limites de la diffraction dans la lithographie traditionnelle et expose des motifs périodiques submicroniques d'excellente qualité. L'exposition sans contact protège à la fois le Réticule et la plaquette, et la technologie d'imagerie sans mise au point permet une exposition uniforme sur un substrat non plan et sur une colle lithographique épaisse.