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Beijing Zhongke Renhua Technology Co., Ltd
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Machine de lithographie UV profonde à haute résolution suisse

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Vue d'ensemble

L'équipement phable est basé sur la technologie DTL (Displacement Talbot Lithography) adoptée par eulitha et offre une lithographie haute résolution grace à un système de lithographie à faible co?t. Le DTL surmonte les limites de la diffraction dans la lithographie traditionnelle et expose des motifs périodiques submicroniques d'excellente qualité. L'exposition sans contact protège à la fois le Réticule et la plaquette, et la technologie d'imagerie sans mise au point permet une exposition uniforme sur un substrat non plan et sur une colle lithographique épaisse.

Détails du produit

Phabler a la capacité d'exposer des structures périodiques à haute résolution avec des systèmes de lithographie à faible coût. Il est similaire à une machine d'exposition UV traditionnelle, en approchant la plaquette recouverte de colle photolithographique d'un réticule, puis en l'éclairant avec un faisceau de lumière UV profonde. Grâce à la technologie révolutionnaire d'exposition phable d'eulitha, la résolution n'est plus limitée par des effets de diffraction indésirables. Les structures telles que les réseaux linéaires périodiques submicroniques et les motifs bidimensionnels (tels que les expositions hexagonales et quadrilatères) ont toutes une uniformité et une fidélité élevées.

La machine de lithographie phabler 100 duv est une table manuelle fondamentale pour la recherche et le développement. Pour les structures nanopériodiques, il n'est pas nécessaire d'avoir des processus technologiques complexes ou de l'expérience pour créer une structure de réseau bidimensionnelle unidimensionnelle de grande surface, bien homogène et reproductible. Quelques caractéristiques des équipements et services concernés:

1. Opération facile d'équipement

2. Bonne compatibilité avec le processus de canal avant et arrière et l'équipement d'accompagnement


Large gamme d'applications, y compris:

  • Académique (R & D)

  • XR (AR / VR / MR)

  • Photonique

  • Composants optiques

  • Biologie / médecine

  • Couleurs / effets visuels

  • Services techniques de lithographie

瑞士高分辨深紫外光刻机

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