Équipement de lavage arrière

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Vue d'ensemble

L'équipement de nettoyage du dos de shengmei peut être utilisé pour le nettoyage du dos de la plaquette ou le processus de gravure humide, tout en offrant une protection contre l'azote au dos de la plaquette via le disque de serrage Bernoulli. Ce dispositif peut être largement utilisé dans les domaines de la fabrication de circuits intégrés et de l'encapsulation au niveau des plaquettes.

Détails du produit

Équipement de lavage arrière

Principaux avantages

Protection complète du dos de la plaquette par Bernoulli clip Disc

La fonction de récupération de liquide pharmaceutique réduit les coûts

Fonction de nettoyage bi - fluide à l'azote intégrable

Peut être appliqué de manière flexible aux procédés de gravure par voie humide, tels que la gravure au silicium et les procédés de gravure en couches minces

Système avancé de balayage de buse

Contrôle précis de l'uniformité de la gravure par voie humide

Approvisionnement précis en liquide chimique

Peut être appliqué de manière flexible à une variété de matériaux de substrat, y compris les feuilles fortement dopées, les feuilles Bonding, les feuilles ultra - minces, etc.

Caractéristiques spécifications

Jusqu'à 8 ensembles de cavités de nettoyage

Equipé d'une unité de retournement de disque

Jusqu'à 5 liquides peuvent être utilisés pour le nettoyage ou la gravure humide, RCA liquide, acide fluorhydrique, mélange acide fluorhydrique / acide nitrique, formule liquide, etc.

Bernoulli clip disc pour une protection complète de l'arrière de la plaquette

Jusqu'à 2 liquides chimiques recyclables

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