Post - CMP Équipement de nettoyage

NégociableMise à jour sur02/15

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Vue d'ensemble

L'équipement post - CMP de shengmei Shanghai est utilisé pour la fabrication de nettoyages après un processus de broyage mécano - chimique (CMP) de substrats de haute qualité, disponible en deux configurations: humide - in - dry - out (wido) et sec - in - dry - out (Dido). Les configurations de 6 et 8 pouces de cet équipement de nettoyage sont adaptées à la fabrication de substrats en carbure de silicium (sic); Les configurations de 8 et 12 pouces conviennent à la fabrication de plaquettes de silicium.

Détails du produit

Post - CMP Équipement de nettoyage

Principaux avantages

Après l'étape CMP, un processus de prélavage physique avec des produits chimiques dilués à basse température est nécessaire pour réduire le nombre de particules. Les équipements de nettoyage post - CMP de shengmei Shanghai sont capables de répondre à ces exigences et sont disponibles dans une variété de configurations, y compris la technologie de nettoyage avancée Smart megasonixtm développée par shengmei Shanghai.

Caractéristiques et spécifications (ultra C WPN (wido))

Équipement de pré - nettoyage en ligne:
Peut atteindre moins de 15 particules restantes en dessous de 37 nm ou moins de 28 nm
20 - 25 particules restantes
La contamination métallique peut être contrôlée jusqu'à 1e + 8 (atomes / cm²)
Capacité jusqu'à 35 plaquettes par heure lorsque configuré avec 4 cavités

Équipement de pré - nettoyage hors ligne:
Peut atteindre moins de 15 particules restantes en dessous de 37 nm ou moins de 28 nm
20 - 25 particules restantes
Petite empreinte

Caractéristiques et spécifications (ultra C WPN (Dido))

Quatre ports de montage configurables

Petite empreinte

Configurable avec quatre ou six cavités, respectivement deux brosses douces et deux cavités de nettoyage ou deux brosses douces et quatre cavités de nettoyage

Peut atteindre moins de 15 particules résiduelles en dessous de 37 nm ou 20 - 25 particules résiduelles en dessous de 28 nm

Capacité jusqu'à 60 plaquettes par heure

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