équipement de gravure humide des bords

L'équipement de gravure humide de bord de shengmei Shanghai prend en charge une variété de dispositifs et de processus, y compris la NAND 3D, la DRAM et les processus logiques avancés, qui utilisent des méthodes de gravure humide pour éliminer divers films de diélectrique, de métal et de matériaux organiques sur les bords des plaquettes, ainsi que des contaminants particulaires.