Équipement de nettoyage de disque monocristallin

NégociableMise à jour sur02/15

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Vue d'ensemble

La série ultra C de nettoyage de disque monocristallin de shengmei peut être largement utilisée dans la fabrication de circuits intégrés avancés dans une variété de processus de segment avant (feol) et de processus de segment arrière (beol), qui peuvent être équipés de différentes solutions chimiques et méthodes de nettoyage auxiliaires selon différentes applications, ainsi que dans la fabrication de disque, la fabrication de MEMS et la fabrication de dispositifs de puissance.

Détails du produit

Équipement de nettoyage de disque monocristallin

• nettoyage avant dépôt

• nettoyage après gravure

• nettoyage post - CMP

• nettoyage standard RCA

• W Loop après lavage

• lavage après Cu Loop

• Retrait du polymère beol

• nettoyage profond trench / via

• Enlèvement de film

• lavage après TSV

• nettoyage avant EPI

• nettoyage avant ALD

Caractéristiques et avantages clés (ultra C ii & ultra C v & ultra C vi)

Disponible avec 8 cavités, 12 cavités et 18 cavités, capacité jusqu'à 225 comprimés / heure, 375 comprimés / heure et 800 comprimés / heure

Capacité de nettoyage double face, peut être dosé jusqu'à 5 liquides de nettoyage tels que: DHF, DSP +, F - diw, FOM, SC1, SC2, dio3, st250, ekc580, ne111, IPA ou formule liquide; Module d'alimentation en liquide pharmaceutique intégré

Jusqu'à 2 liquides pharmaceutiques recyclables, faible Coo

En option avec IPA à température normale ou IPA à haute température technologie de séchage améliorée

Nettoyage diw à deux fluides par atomisation à l'azote ou nettoyage diw à deux fluides par atomisation à l'azote SC1 pour aider à l'élimination des mégasons technologie à mégasons humides sur des surfaces planes ou des structures à trous profonds technologie à mégasons humides sur des feuilles graphiques pour un nettoyage efficace et sans dommage

Dimensions de l'équipement: Ultra C II 2.35m x 5.53m x 2.85m, Ultra C V 2.35m x 6.7m x 2.85m, Ultra C VI 2.35 Mètres × 6,30 mètres × 2,85 mètres (largeur × longueur × hauteur)

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