Dispositif de dépôt en phase vapeur d'agent de couplage machine de vaporisation d'adhésif / anti - adhésif

I. qu'est - ce que le dépôt en phase vapeur d'agent de couplage?

Les traitements classiques avec l'agent de couplage (par example trempage, pulvérisation) consistent à immerger le matériau dans une solution aqueuse ou alcoolique de l'agent de couplage. Alors que le dépôt en phase vapeur est la vaporisation de l'agent de couplage liquide sous vide ou sous une atmosphère spécifique, de sorte qu'il entre en contact avec la surface du substrat sous forme de molécules gazeuses et réagit chimiquement pour former une couche mince homogène, dense et ultra - mince de couches monomoléculaires ou polymoléculaires.

Deux,Dispositif de dépôt en phase vapeur d'agent de couplage machine de vaporisation d'adhésif / anti - adhésifComposition de base de l'équipement

Un ensemble complet d'équipements de dépôt en phase vapeur d'agent de couplage contient généralement plusieurs parties centrales:

1. Cavité de dépôt

· fonction: placer la zone centrale de la pièce à traiter (substrat).

· exigences: une résistance à la corrosion, une étanchéité élevée et une fonction de chauffage (chauffage du substrat ou de la cavité elle - même pour faciliter la réaction) sont généralement requises.

2. Système de vide

· fonction: vide la cavité avant le dépôt, élimine l'air et la vapeur d'eau et crée un environnement de réaction propre et contrôlable. Ceci est essentiel pour éviter l'hydrolyse préalable de l'agent de couplage et garantir la qualité de la couche de membrane.

· Composition: une pompe mécanique est généralement incluse, parfois une pompe moléculaire est configurée au besoin pour obtenir un vide plus élevé.

3. Système de livraison d'agent de couplage

· fonction: C'est la clé technique de l'appareil.

4. Système de chauffage et de contrôle de la température

· fonction:

· chauffage du substrat: la température de la surface du substrat est un facteur clé dans les réactions d'hydrolyse et de condensation de l'agent de couplage.

· ligne de gaz chauffée: l'agent de couplage qui empêche la vaporisation de se condenser pendant le transport.

· exigence: haute précision de contrôle de la température, bonne uniformité de la température dans la cavité.

5. Système de contrôle

· fonction: PLC intégré ou ordinateur pour un contrôle précis de l'ensemble du processus, y compris:

· 真空度

· température de chaque zone (vaporisateur, ligne, cavité, substrat)

· quantité d'alimentation en agent de couplage

· temps de dépôt

· avantage: automatiser le processus, être reproductible et enregistrer tous les paramètres pour garantir la stabilité de la qualité du produit.

Trois,Dispositif de dépôt en phase vapeur d'agent de couplage machine de vaporisation d'adhésif / anti - adhésifDomaines d'application

Un tel dispositif est principalement utilisé dans les domaines où les exigences en matière de traitement de surface sont élevées:

· microélectronique et semi - conducteurs: dépôt d'une couche isolante sur une plaquette ou amélioration de l'adhérence des matériaux suivants.

· aérospatiale: traitement de fibres de carbone, de fibres de verre et d'autres matériaux composites pour renforcer l'hydrophobie afin d'améliorer considérablement sa résistance à la liaison interfaciale avec la matrice de résine.

· optique: dépôt d'un film fonctionnel perméable, imperméable à l'eau et antibuée sur les lentilles, les éléments optiques.

· Nanoimprint: anti - adhésif, agent de démoulage autocollant pour modifier l'hydrophobie de la surface du substrat pour obtenir un excellent effet anti - adhésif.

· dispositifs médicaux: dépôt d'un revêtement biocompatible sur la surface de l'implant.

Machine de placage à la vapeur d'adhésif / anti - adhésifAvantages

Avantages par rapport au processus humide traditionnel:

Caractéristiques méthode de dépôt en phase vapeur méthode humide traditionnelle (trempage / pulvérisation)

Bonne uniformité de la couche de membrane, peut former une couche monomoléculaire, pas de gouttelettes, facile à produire une épaisseur inégale, des traces d'écoulement

Couche de membrane de haute qualité de pureté, aucune pollution par solvant, densité élevée peut introduire des impuretés telles que le solvant, le catalyseur, etc.