Traitement hydrophobe machine de placage à la vapeur coupleur contrôlé machine de revêtement sous vide

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Vue d'ensemble

Traitement hydrophobe autocollant machine de revêtement sous vide par le contrôle de la température de fonctionnement du processus de traitement, le temps de traitement, le temps de maintien pendant le traitement et d'autres paramètres peuvent appliquer uniformément une couche d'agent de couplage (hmds) sur la Feuille de silicium, la surface du substrat, changer l'angle de contact du substrat, réduire la quantité de colle photolithographique utilisée, améliorer l'adhésion de la colle photolithographique à la Feuille de silicium.

Détails du produit

Traitement hydrophobe machine de placage à la vapeur rôle de la machine de revêtement sous vide d'agent de couplage contrôlé

Par la température de fonctionnement du processus de traitement, le temps de traitement, le temps de rétention pendant le traitementLe contrôle des paramètres égaux peut appliquer uniformément une couche d'agent de couplage sur la surface de la Feuille de silicium, du substrat (HMDS).ChangementC'est ça.Le substratdeAngle de contact, réduit la quantité de colle de lithographie, améliore l'adhérence de la colle de lithographie avec la Feuille de silicium.

Suivez les normes nationales pertinentes, les normes de l'industrie, les normes locales, etc. normes, spécifications

Répondre aux critères:Les normes du système de qualité ISO9001, ainsi que les normes nationales pertinentes, les normes de l'industrie et les spécifications des fabricants d'équipements.

Fonction de traitement hydrophobe machine de placage à la vapeur coupleur contrôlé machine de revêtement sous vide

Numéro	fonction	Paramètres techniques
1.	taille	Dimensions de la cavité interne (profondeur* largeur * hauteur):≥ 300300300 (mm), plusieurs tailles disponibles，L'appareil adopte une petite conception tout - en - un, peut être placé sur le Bureau- Oui.
2.	matière	Le boîtier extérieur est moulé par pulvérisation de tôle laminée à froid de haute qualité, le boîtier intérieur est Acier inoxydable de catégorie 316L，Nombre de couches d'étagères≥ 2Couche- Oui.
3.	Plage de température	RT+10-200℃，Volatilité≤ ± 0,5- Oui.
4.	Pureté	class 100， L'équipement utilise un matériau sans poussière, adapté à l'environnement de purification de lithographie de classe 100- Oui.
5.	Puissance et puissance totale	AC 220V ± 10% / 50HZ，Puissance totalePour:2.5KW- Oui.
6.	Instruments de contrôle	Interface homme - machine，ContrôlableHmds liquide médicamenteux ajoutéTemps- Oui.
7.	pompe à vide	Pompe à vide à rotule anti - retour ou pompe sans huile,真空度：≤ 1 Torr，
8.	Dispositif de protection	Protection contre la surchauffe, protection contre les fuites, etc.- Oui.
9.	Alarme de fuite hmds	Équipé deUnité de surveillance en temps réel hmds avec fonction d'alerte- Oui.

Le système est adapté non seulement pour la fabrication traditionnelle de circuits intégrés à base de silicium, dans la troisième génération de semi - conducteurs (tels que SiC, Gan), Packaging (TSV, fan - out), et des domaines émergents tels que le transfert massif de micro - LED, quiLa capacité de promotion de l'adhésion montre également un grand potentiel. Les traitements de surface stables sont ceuxPierre angulaire de l'industrialisation de la technologie.Il s'applique à l'usine de fabrication de plaquettes semi - conductrices (Foundry), au Département de recherche et développement de processus de la société de conception de circuits intégrés, à l'entreprise de fabrication de MEMS, à la production de masques lumineux, aux fabricants de dispositifs semi - conducteurs composés (tels que Gan, sic), aux laboratoires de micro et nanotraitement des instituts de recherche scientifique et des universités.Fabricants d'emballage (AP), fabricants de LED, sociétés de recherche et développement de puces microfluidiques, etc.

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