Système de dépôt sous vide plasma machine de revêtement plasma sous vide

Système de dépôt sous vide plasma machine de revêtement plasma sous vide

L'utilisation d'une alimentation haute tension à haute fréquence pour produire du plasma dans un certain environnement de vide ou une atmosphère de gaz spécifique. Par des ions de haute énergie frappant la surface du matériau, enlever les contaminants, les impuretés de la surface, rendre la surface rugueuse et augmenter la surface. Modifiant ainsi les propriétés chimiques de la surface du matériau, améliorant ses propriétés hydrophiles, adhésives, résistantes à l'abrasion, etc. Après dépôt en phase vapeur d'un tackifiant (ou d'un agent de couplage, d'un anti - adhésif) à la surface d'un substrat (matériau tel qu'une plaquette de silicium, de l'arséniure de gallium, du Niobate de lithium, du verre, du saphir, de la plaquette...), on peut réagir par chauffage pour produire un composé à base de Siloxane. Il transforme avec succès la surface du substrat d'hydrophile en hydrophobe dont la base hydrophobe se lie bien à la colle photolithographique jouant le rôle d'agent de couplage.

Système de placage sous vide plasma sous vide machine de revêtement plasma fonction

Fréquence du système d'alimentation: 13.56m

Type d'alimentation: alimentation RF, puissance réglable (avec adaptateur automatique)

Nombre de couches de la plaque d'électrode: 2 couches (ou plusieurs couches)

Mode de disposition des plaques d'électrodes: disposition horizontale / Disposition verticale

Distance entre les plaques d'électrodes: 150mM (peut être spécifié)

Matériau de la cavité: boîte intérieure en acier inoxydable 316L

Plage de température: température ambiante - 150 ℃

Degré de vide: ≤30pa

Pompe à vide: pompe à vide sans huile

Agent de couplage: système d'alimentation en liquide de l'agent de couplage 1 - 2 voies en option

Route de gaz: 1 - 5 voies en option

Fonction de nettoyage: temps de nettoyage plasma, nombre de fois, puissance d'alimentation, etc. réglable

Système de revêtement: temps de revêtement, nombre de cycles, processus de revêtement peut être modifié

Interface d'opération: interface homme - machine / machine de commande

Fonction d'automatisation: disponible en option avec mes, GEM et autres systèmes intelligents en ligne

La machine de nettoyage au plasma est appliquée au nettoyage de l'optique, des composants électroniques, des dispositifs laser, des substrats revêtus, des puces pour améliorer le collage des composants optiques, des fibres optiques, des matériaux biomédicaux, des matériaux aérospatiaux, etc. la colle et la force de la colle utilisée pour éliminer l'oxyde de la surface du matériau métallique activent la surface du verre, du plastique, de la céramique, des polymères élevés et d'autres matériaux, améliorent leur adhérence superficielle, leur mouillabilité, leur compatibilité avec la modification de surface des matériaux macromoléculaires, etc.