Four à vide hmds à quatre cavités four hmds Multi - stations par ordinateur

Ordinateur multi - station hmds four rôle principal

L'appareil pré - traite le substrat rapidement, uniformément et économiquement avec de l'hexaméthyldisilane (hmds), améliorant ainsi l'adhérence du substrat à la colle lithographique.

L'adhérence de photolithographie de haute qualité est la base de toutes les étapes de processus ultérieures, seule la surface suffisamment sous - enduite peut reproduire avec précision le diaphragme de confocation de niveau submicronique, éviter l'apparition de bords explosifs, ou y compris des problèmes secondaires. Le processus de durcissement sous vide déshydrate rapidement le substrat, ce qui permet à l'excellente force de liaison formée avec la couche de hmds de rester stable même après plusieurs semaines d'exposition à l'humidité atmosphérique.

Four à vide hmds à quatre cavités four hmds Multi - stations par ordinateurCaractéristiques du processus

Uniformité du dépôt chimique

Meilleure homogénéité des angles de contact

Traitement de surface résistant à l'humidité

L'adhérence de la colle de lithographie peut être améliorée de 3 à 5 fois

Évitez la formation de trous de remplissage (void) et Améliorez la qualité du transfert graphique

Adhérence photorésistive améliorée

Consommation réduite d'hexaméthyldisilane (hmds)

Industrie applicable: MEMS, filtrage, amplification, puissance et autres dispositifs, Wafer, saphir, verre, métaux précieux, SiC (carbure de silicium), Gan (Nitrure de gallium), ZnO (oxyde de zinc), Gao (oxyde de gallium), arséniure de gallium, Niobate de lithium et, phosphure d'indium, diamant et autres matériaux semi - conducteurs de troisième génération.

Four à vide hmds à quatre cavités four hmds Multi - stations par ordinateurPerformance

Volume: 40l * 4, (1 - 12 pouces produits et débris compatibles) peut être personnalisé

Application opérationnelle: contrôle indépendant de 4 stations

Plage de température: RT + 20 - 200 ℃

真空度： ≤1torr

Automatisation: contrôle de type Ordinateur + contrôle mes en position haute

Pompe à vide: pompe à vide sans huile

Hmds Fluid fuite alarme conseils fonction

Fonction d'alerte de niveau bas hmds

Fonction d'enregistrement des données de processus

Fonctions telles que la protection de verrouillage du programme